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優れた結晶性と緻密な表面を有するSnO2薄膜を用いた高感度ガスセンサ

優れた結晶性と緻密な表面を有するSnO2薄膜を用いた高感度ガスセンサ

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カテゴリ: 部門大会

論文No: 21pm1-PS3-37

グループ名: 【E】第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2019/11/12

タイトル(英語): High sensitivity gas sensor applying SnO2 thin film with high-crystallinity and ultra-fine surface

著者名: 安藤 毅(東京電機大学), 篠田 宏之(東京電機大学), 六倉 信喜(東京電機大学)

要約(日本語): 本研究では,酸化スズガスセンサの感度向上を目的として実験を行った。酸化スズ薄膜は,配向性に優れ,同時に緻密な表面と最適化された電気的特性を持つよう作成した。その結果,酸化スズガスセンサは,0.5ppmの水素,エタノール,アセトンガスを検知する事が可能であった。

要約(英語): In this study, we attempt to improve the sensitivity of the SnO2 gas sensor. The proposed method is employing the SnO2 layer with the highly oriented crystalline layer, the fine surface and the optimized electric properties. The SnO2 gas sensor can detect 0.5 ppm hydrogen, ethanol, and acetone gas caused by the high crystallinity.

PDFファイルサイズ: 746 Kバイト

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