化学センシングのためのマルチモード導波路干渉計

カテゴリ: 部門大会

論文No: 21pm1-PS3-40

グループ名: 【E】第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2019/11/12

タイトル(英語): Multimode waveguide interferometer for chemical sensing

著者名: 海老原 恵都(筑波大学), 大久保 喬平(東京理科大学), 浅川 潔(筑波大学), 鈴木 博章(筑波大学)

要約(日本語): 高感度化と微小化が期待されるマルチモード光導波路干渉計の開発を行った。本干渉計は基底モードと水平方向の一次励起モードを選択的に励起し干渉に用いる。デバイスは電磁界シミュレーションによる導波路構造の解析に基づき設計し、電子線リソグラフィーにより作製した。作製されたデバイスはグルコース水溶液の導入に伴って出力が周期的に変化し、センサ表面の屈折率変化を検出できることを示した。

要約(英語): A highly sensitive multimode waveguide interferometer was developed for chemical sensing. The interferometer used the interference between the fundamental mode and the lateral first order mode. Dependence of sensitivity on waveguide structure and coupling efficiency were calculated to decide the optimized device structure. The behavior of the fabricated device was examined by detecting glucose.

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