神経インターフェース用多機能マイクロチューブモジュールデバイスの製作と実装技術

カテゴリ: 部門大会

論文No: 21pm1-PS3-5

グループ名: 【E】第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2019/11/12

タイトル(英語): Fabrication and packaging of multifunctional microtube block-module device

著者名: 小野崎 健人(豊橋技術科学大学), Liyana(豊橋技術科学大学), 山際 翔太(豊橋技術科学大学), 澤畑 博人(茨城工業高等専門学校 ), 河野 剛士(豊橋技術科学大学)

要約(日本語): 本研究では,1×1 mm2のSi基板に直径10 μm以下,高さ100 μmのマイクロチューブを形成したモジュール型マイクロチューブデバイスを提案する.また,作製したマイクロチューブの機械的強度の評価と実装方法の提案を行った.作製したマイクロチューブは十分な刺入強度を示すと共に,提案する1×1mm2ブロックを組み合わせた多チャンネル実装が可能でることを確認した.

要約(英語): We propose the 10-μm-diameter and 100-μm-length microtube on a 1 × 1 mm2 Si substrate as the block module. The fabricated microtube shows the penetration capability, while the small device geometry allows us to assembly of the multiple microtube modules on a same flexible substrate.

PDFファイルサイズ: 860 Kバイト