銅張積層板を用いた流路構造一体型MEMS流量センサの開発

カテゴリ: 部門大会

論文No: 21pm1-PS3-7

グループ名: 【E】第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2019/11/12

タイトル(英語): MEMS flow sensor integrated with flow channel structure using copper on polyimide substrate.

著者名: 瀧川 流成(広島市立大学), 長谷川 義大(広島市立大学), 谷口 和弘(広島市立大学), 松島 充代子(名古屋大学), 川部 勤(名古屋大学), 式田 光宏(広島市立大学)

要約(日本語): MEMS技術の発展に伴い,微小領域での計測が可能となった一方で,微細配線接続を含むセンサ実装工程,及び配管へのセンサ実装工程は煩雑さを増している.本課題を克服することを目指し,本研究では基板材料として銅張積層板を用いて,微細配線を有するセンサ素子を形成し,センサ基板の一部を塑性変形させることにより,センサと同一基板上に流路構造をも形成するという「流路構造一体型MEMS流量センサ」の実現を目指した.

要約(英語): We developed the MEMS flow sensor integrated with flow channel structure using copper on polyimide substrate. The Fabricated MEMS flow sensor was applied in the breathing flow measurements in rat, and the breathing airflow at the rat was directly detected.

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