熱式MEMS流量計の感度に関するシミュレーション解析

カテゴリ: 部門大会

論文No: 21pm1-PS3-8

グループ名: 【E】第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2019/11/12

タイトル(英語): Simulation analysis for sensitivity of a thermal MEMS flow meter

著者名: 張 荷沁(東京大学), 馬 賽(東京大学), 伊藤 寿浩(東京大学)

要約(日本語): この研究の目的は、液滴を含む圧縮ガス流に適したMEMS熱流センサーの構造を設計することです。検知原理として、加熱流体の動きを利用して、異なる流量での温度変化を測定する方法を採用しました。実行可能性を判断するために、CFDシミュレーションの結果と既存のセンサーの実験測定値を比較しました。 0～3L / minの流量範囲で、感度をより重視する場合、ヒーターと温度センサー間の距離は30μm以上に設計する必要があることがわかります。

要約(英語): This research aims to design a structure of MEMS thermal flow sensor, which is suitable in compressed gas flow containing droplets.The results of CFD simulation and experimental measurements of existing sensors were compared. It is found that in the flow range of 0~3L/min, if sensitivity is more emphasized, the distance between heater and temperature sensors should be designed more than 30μm.

PDFファイルサイズ: 712 Kバイト