金ナノ構造を用いた波長依存性を有するSOI型近赤外ボロメータ素子

カテゴリ: 部門大会

論文No: 26A3-SS1-1

グループ名: 【E】第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2020/10/19

タイトル(英語): Study on wavelength-dependent SOI-type near-infrared bolometer element using gold nanostructure

著者名: 坪田 達也(神戸大学), 上杉 晃生(神戸大学), 菅野 公二(神戸大学), 磯野 吉正(神戸大学)

要約(日本語): 低コストかつ小型化可能な近赤外線検出器として,ボロメータ型素子の提案及び評価を行なった。吸収体には表面プラズモン共鳴により近赤外線の特定波長を強く吸収するシリコン被覆金ナノワイヤ構造を採用した。作製デバイスを計測した結果,電気抵抗変化には波長依存性が見られ,有限要素解析や理論計算結果と同様の傾向を示したため,本デバイスの有用性が示された。

要約(英語): We proposed a bolometer element as a low-cost and miniaturized near-infrared sensor. Gold nanowire grating structures coated with silicon, which strongly absorbs specific wavelengths of near-infrared by surface plasmon resonance were adopted for absorbers. As a measurement result, the electrical resistance depends on wavelength and showed the similar trends from both finite element method analysis and theoretical calculation, indicating the usefulness of this device.

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