α-クォーツによるバルクジャイロの提案

カテゴリ: 部門大会

論文No: 26A3-SS1-4

グループ名: 【E】第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2020/10/19

タイトル(英語): A Preliminary Study of Alpha-Quartz Bulk Gyro

著者名: 田中 勇輝(兵庫県立大学), 前中 一介(兵庫県立大学), 藤田 孝之(兵庫県立大学), 神田 健介(兵庫県立大学)

要約(日本語): 高加速度・大衝撃環境下でも動作可能なα-クォーツ三角柱型バルクジャイロセンサに関しての解析結果について報告する。バルクジャイロに関する設計指針を示し,ジャイロとして利用可能なモードの探索し,その共振を励振する電極配置についても報告している。調和解析により,励振状態のデバイスに角速度を印加し,得られた出力に適切な演算処理を行うことで,角速度成分の抽出が可能であることを議論した。

要約(英語): This paper presents the analysis results of the bulk gyro sensor that is less influenced by acceleration and shock. This report shows design guidelines for bulk gyros, and we found the reference vibration mode suitable for a gyroscope operation and electrode layout that can excites the vibration modes. The output can be separated into three-axes angular velocity by processing with appropriate matrix operations.

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