近赤外吸収体を有する静電型マイクロ振動子デバイスを用いた水の分光測定

カテゴリ: 部門大会

論文No: 26A3-SS2-5

グループ名: 【E】第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2020/10/19

タイトル(英語): Spectroscopic measurement of water using electrostatic transducer with Near-infrared absorber

著者名: 鈴木 隆正(神戸大学), 中藤 康太(神戸大学), 上杉 晃生(神戸大学), 菅野 公二(神戸大学), 磯野 吉正(神戸大学)

要約(日本語): 近赤外センサの低コスト化,小型化を目指し,近赤外吸収体を搭載した単結晶 Si静電型MEMS振動子デバイスを提案した.光吸収に伴い振動子に生じる熱応力に起因する共振周波数変化を利用し,光の波長や強度を測定するデバイスである.本研究では,水の近赤外分光法に本デバイスを適用し,有用性の検証を行った.理論式に基づいた評価方法を提案し,本デバイスにおいて水の近赤外吸収スペクトルが装置で検出できることを確認した.

要約(英語): we proposed an electrostatic Si microresonator device equipped with a near-infrared absorber. In this study, we applied this device to near-infrared spectroscopy of water and verified its usefulness. We proposed an evaluation method based on a theoretical formula and confirmed that the near-infrared absorption spectrum of water can be detected by the device.

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