インクジェット法を用いた電極パターニングによるフレキシブルP(VDF/TrFE)超音波センサの開発

カテゴリ: 部門大会

論文No: 26A3-SS3-2

グループ名: 【E】第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2020/10/19

タイトル(英語): Development of P(VDF/TrFE) flexible ultrasonic sensor with electrodes patterned using inkjet method

著者名: 大谷 直也(東北大学), 鶴岡 典子(東北大学), 芳賀 洋一(東北大学)

要約(日本語): 低侵襲で長時間計測可能なウェアラブル超音波センサ開発のため、圧電素子としてフレキシブルなP(VDF/TrFE)シートを用いたフレキシブルな超音波センサの作製を行った。微細ピッチで電極パターニング可能なインクジェット法を用いてP(VDF/TrFE)シート両面に電極のパターニングを行うことで超音波センサを作製し設計サイズとの誤差と超音波の出力について評価を行った。

要約(英語): In order to develop wearable ultrasonic sensor that can measure for a long time with minimal invasiveness, flexible P(VDF / TrFE) sheet was used as the piezoelectric element. We fabricated P(VDF / TrFE) sheet with patterned electrode by the inkjet method that can pattern electrodes at a fine pitch and evaluated the ultrasonic sensor that can transmit and receive ultrasound.

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