MEMS振動エナジーハーベスタの実機における発電量最大化技術

カテゴリ: 部門大会

論文No: 26P2-SS1-1

グループ名: 【E】第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2020/10/19

タイトル(英語): A METHOD OF OPTIMIZATION OUTPUT POWER FOR MEMS VIBRATIONAL ENERGY HARVESTER

著者名: 三屋 裕幸(鷺宮製作所), 芦澤 久幸(鷺宮製作所), 下村 典子(鷺宮製作所), 本間 浩章(東京大学), 橋口 原(静岡大学), 年吉 洋(東京大学)

要約(日本語): インフラ監視用MEMS振動エナジーハーベスタを開発し、特に工場で使われている真空ポンプなどの振動条件に応じて、負荷抵抗を選択することにより出力を最大化することに成功した。 その結果、実機振動特性から約550 μWの発電を達成した。外部負荷は抵抗に限らず、インダクタ等でもよい。これらを振動状態に応じて切り替え、時々刻々変化する振動源の周波数、振幅に追従して最適状態で電力を回収するMEMS振動発電素子の基盤技術を構築した。

要約(英語): A MEMS vibrational energy harvester is developed for infrastructures monitoring systems. The output power is maximized by appropriately choosing the load resistance in accordance with the vibration conditions of a vibration source. More than 500 μW of output power is obtained from an actual vacuum pump used in a factory.

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