Frequency trimming method for a disk resonator using flexural rigidity

カテゴリ: 部門大会

論文No: 26P2-SS1-2

グループ名: 【E】第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2020/10/19

タイトル(英語): Frequency trimming method for a disk resonator using flexural rigidity

著者名: アブデリ ハムザ(東北大学), 塚本 貴城(東北大学), 田中 秀治(東北大学)

要約(日本語): 本論文では,多重リングMEMS振動子の周波数トリミング法について報告する.有限要素法を用いた数値実験によって,提案する手法によって,10.3%の周波数トリミングが可能であることがわかった.この時,Q値の変化は0.6%に抑えることができた.本手法と,既報のQ値トリミング手法を組み合わせることで,周波数とQ値のミスマッチをそれぞれ独立に制御することが可能となる.

要約(英語): We proposed a new method for frequency trimming that has a low effect on the quality factor of a multi-ring disk resonator. Using numerical analysis, it was demonstrated that by applying this method, the frequency could be trimmed as much as 10.3%, while the Q-factor change as small as 0.6%.

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