液中ナノバイオ試料の電子顕微鏡観察のための 超薄電子線透過膜を有するMEMS液体セルの開発

カテゴリ: 部門大会

論文No: 26P2-SS1-4

グループ名: 【E】第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2020/10/19

タイトル(英語): MEMS liquid cell with a super thin electron transparent membrane for in-liquid electron microscopy of nano bio samples

著者名: 杉原 晶彦(東京工業大学), 石田 忠(東京工業大学)

要約(日本語): シリコン窒化膜(SiN)越しに液中ナノバイオ試料を電子顕微鏡観察するためのMEMS液体セルが開発されている。分解能の向上にはSiN膜の薄化が不可欠だが、薄化すると歩留まりが低下してしまう。そこで、Si基板の異方性ウエットエッチング前に、SiN付Si基板にマイクロ流路を接合し、マイクロ流路を保護層とした作製手法を考案した。本手法を用いて膜厚10 nm以下の超薄SiN膜付MEMS液体セルを開発し、液中のシアノバクテリアを電子顕微鏡観察した。

要約(英語): We developed MEMS liquid cell with a super thin electron transparent membrane (ETM). In the fabrication process, a silicon substrate with a 10-nm-thick SiN layer and a microchannel are bonded. The microchannel protected ETM from any damages. Using the MEMS liquid cell, cyanobacteria were observed in-liquid by scanning electron microscope at high resolution.

PDFファイルサイズ: 805 Kバイト