構造が実現する巨大ハードスプリング効果を持つ赤外線センサむけ熱たわみ連成ねじり振動子

カテゴリ: 部門大会

論文No: 27A2-SS1-1

グループ名: 【E】第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2020/10/19

タイトル(英語): Structure-Based Huge Hard-Spring Torsional Resonator Coupled with Thermal Bending for Infrared Sensor

著者名: 岡本 真輝(豊田工業大学), 畠垣 知弥(豊田工業大学), 熊谷 慎也(名城大学), 佐々木 実(豊田工業大学)

要約(日本語): 中央部が熱たわみによって反りあがることにより,ねじり剛性が温度に対して巨大なハードスプリング効果を示す振動子を実現した。得られた変化率は室温で+3790 ppm/Kで,従来報告と比べて最大値である。正の極性であることは材料特性と逆であり,本振動子が熱たわみとねじり振動が連成する構造由来の変化を利用していることを明示している。構造には更なる薄膜化などの改良の余地があり,赤外線センサとして有望である。

要約(英語): A temperature-sensitive electrostatic resonator is realized which hardens the torsional spring being coupled with the static thermal bending. The principle relates with the structure. The changing ratio reached to +3790ppm/K against. This is more than 10-times larger in magnitude and opposite in direction compared to the temperature dependence of the material used indicating the high sensitivity for the infrared sensor.

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