MEMS 力センサを用いた液滴衝突時におけるバブル発生の検知

カテゴリ: 部門大会

論文No: 27A2-SS2-1

グループ名: 【E】第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2020/10/19

タイトル(英語): Detection of bubble entrapment during droplet impact using MEMS-based force sensor

著者名: グェン タンヴィン(産業技術総合研究所), 一木 正聡(産業技術総合研究所)

要約(日本語): In this paper, we report a method to detect the formation of bubble during the recoil phase of droplet impact on a (super-)hydrophobic surface using a MEMS-based acoustic sensor.

要約(英語): 本研究では、基板上に作製したMEMSの音響センサを用いた液滴衝突における気泡の発生の検出手法と気泡のサイズの推定手法を報告した。その結果、気泡の振動によって誘起される音響信号の周波数から気泡の大きさを推定できることを示した。最後に、キャビティ内の空気を接触部の下に逃がすことで、気泡の巻き込みを防止できることを示した。

PDFファイルサイズ: 1,974 Kバイト