光センシングマイクロ共振デバイスの梁長さおよび振幅が計測分解能に与える影響

カテゴリ: 部門大会

論文No: 27A2-SS2-3

グループ名: 【E】第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2020/10/19

タイトル(英語): Effects of beam length and amplitude on measurement resolution in optical sensing using microresonantor

著者名: 近藤 直輝(神戸大学), 竹上 航平(神戸大学), 新居 直之(神戸大学), 上杉 晃生(神戸大学), 菅野 公二(神戸大学), 磯野 吉正(神戸大学)

要約(日本語): マイクロ振動子の共振周波数の変化から光強度や光波長の変化を計測するデバイスが報告されている。本研究では,このマイクロ振動子型の光センサの寸法や振幅が光強度計測分解能にどのような影響を与えるかを明らかにすることを目的とした。そして実験の結果,振動子の長さと振幅を大きくすることが光強度計測分解能の向上に有効であると明らかにした。

要約(英語): Research is underway to apply micro-resonator sensors to measure changes in light intensity and wavelength in the infrared region. The purpose of this study was to clarify how the dimensions and amplitude of micro-resonator affect the light intensity measurement resolution. As a result of the measurement, it was clarified that increasing the length and amplitude is effective in improving the light intensity measurement resolution.

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