イオン液体エレクトロスプレースラスタの二段電極作製に向けたガラス貫通加工の検討

カテゴリ: 部門大会

論文No: 27A2-SS2-4

グループ名: 【E】第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2020/10/19

タイトル(英語): Examination of glass penetration for fabrication of ion liquid electrospray thruster with accelerator and extractor electrodes

著者名: 西邑 亜香音(京都大学), 鷹尾 祥典(横浜国立大学), 土屋 智由(京都大学)

要約(日本語): 本研究では二段電極構造をもつイオン液体エレクトロスプレースラスタの実現に向けて、ガラスの貫通孔加工を検討した。UV-LIGAプロセスによるNiマスク形成を行い、これをハードマスクとしたNLD-RIEの加工条件の最適化について報告する。

要約(英語): This paper addresses dry etching process on glass substrate to fabricate through via holes for realizing ion liquids electrospray thruster with two-stage electrodes.We employed electrodeposited nickel film as a hardmask and optimized the conditions of NLD-RIE.

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