トリプルマス振動子を用いた共振周波数に影響を与えないQ値の静電チューニング

カテゴリ: 部門大会

論文No: 27A2-SS2-6

グループ名: 【E】第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2020/10/19

タイトル(英語): Electrostatic tuning of Q-factor with negligible effect on frequency Using Triple mass resonator

著者名: 陳 建霖(東北大学), 塚本 貴城(東北大学), 田中 秀治(東北大学)

要約(日本語): トリプルマス振動子を用いた共振周波数に影響を与えないQ値の静電チューニング

要約(英語): This paper reports a novel triple mass resonator (TMR) consisting of a tuning fork type resonator with an additional inner mass, which could electrostatically tune the Q-factor independently from frequency.

PDFファイルサイズ: 390 Kバイト