表面プラズモン共鳴式光検出器を用いた近赤外分光法によるガス検出

カテゴリ: 部門大会

論文No: 27P2-SS1-1

グループ名: 【E】第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2020/10/19

タイトル(英語): GAS DETECTION BY NEAR-INFRARED SPECTROSCOPY BASED ON A SURFACE PLASMON RESONANCE PHOTODETECTOR

著者名: 山本 陽介(電気通信大学), 大下 雅昭(電気通信大学), 深澤 真啓(電気通信大学), 齋藤 史朗(アイシン・コスモス研究所), 菅 哲朗(電気通信大学)

要約(日本語): 本稿では、SPR(表面プラズモン共鳴)式光検出器を用いた近赤外分光法によるガス測定法について報告する。SPR式光検出器は、特定の波長の光を、対応する入射角で光電流として検出する。受光素子の各波長の応答性をあらかじめ調べることで、光電流から入射光のスペクトルへ変換できる。SPR式光検出器を製作し、SPR式光検出器を用いて単一ガス試料の吸収スペクトルを測定し、単一ガスの検出が確認できた。

要約(英語): This paper reports a gas measurement method by Near-infrared (NIR) spectroscopy using a Surface Plasmon Resonance photodetector. The photodetector can detect light of a specific wavelength as photocurrent at a corresponding incident angle. we fabricated the photodetector and measured the absorption spectrum of a single gas sample using the photodetector, and the detection of the single gas was confirmed.

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