Structural control of anodized SnO2 for gas detection

カテゴリ: 部門大会

論文No: 27P2-SS2-2

グループ名: 【E】第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2020/10/19

タイトル(英語): Structural control of anodized SnO2 for gas detection

著者名: 孫 建(熊本大学), 橋新 剛(熊本大学), 久保田 宏(熊本大学)

要約(日本語): 陽極酸化法によるフッ素ドープSnO2ナノワイヤ(SNW)の合成を報告します。ガスに敏感な膜はMEMSチップ上に堆積されました。センサー抵抗はH2Sの存在下で大幅に減少しました。SNWセンサーは最大329のセンサー応答を実現しました 100°Cの動作温度で、フッ素のドーピングは、最適な動作温度の低下につながると考えることができます。

要約(英語): we report the synthesis of flourine doped SnO2 nanowires (SNW) by anodization method. The gas sensitive films was deposited on the MEMS chips. The sensor resistances was significantly decreased in the presensce of H2S. The SNW sensor achieved a sensor response of up to 329 at an operating temperatire of 100 oC. Folurine doping could be considered to lead to a decrease in the optimum operating temperature.

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