エレクトレット型振動発電素子のプルイン自動解除システム構築に向けた検証

カテゴリ: 部門大会

論文No: 27P2-SS3-3

グループ名: 【E】第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2020/10/19

タイトル(英語): Experimental verification of automatic recovery from pull-in phenomenon in electrostatic MEMS energy harvester

著者名: 原田 翔太(東京大学)

要約(日本語): エレクトレット型MEMS振動発電素子を予期せぬプルインから自動復帰するため、エレクトレットを一時的に打ち消す解除電圧を自動生成する方法を検証した。櫛歯電極にエレクトレット相当の電圧を印加して意図的にプルインさせた後に電圧を下げ、櫛歯が外れた時点での電圧差を解除電圧と定義した。発電素子の出力を昇圧することでIoT端末内にプルインからの自動復帰システムの一体化が可能である。

要約(英語): An automatic recovery method from unexpected electrostatic pull-in failure of a vibrational energy harvester has been studied. Recovery volage was defined by the voltage to cancel the effect of built-in potential of electret. Presuming a voltage booster, it is possible to integrate such a recovery system within an energy harvester.

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