圧電MEMS超音波センサ用座屈ダイアフラムのパルス応答モード

カテゴリ: 部門大会

論文No: 27P2-SS3-4

グループ名: 【E】第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2020/10/19

タイトル(英語): 圧電MEMS超音波センサ用座屈ダイアフラムのパルス応答モード

著者名: 藤井 翔太(京都工芸繊維大学), 山下 馨(京都工芸繊維大学)

要約(日本語): 座屈形状を持つ圧電ダイアフラム型超音波センサにおいて,パルス超音波照射時の応答振動を測定し,座屈撓み量が振動モードに与える影響を評価した。振動モードの評価にあたりダイアフラム状のすべての測定点でのスペクトルを考慮することにより,振動モードの対称性によらない全ての振動モードの評価を試みた。

要約(英語): Pulse-induced vibration behavior of buckled diaphragms was investigated from the viewpoint of existence of multiple vibration modes of piezoelectric ultrasonic microsensors as a transient response to a short ultrasound pulse. The diaphragms were fabricated to have a buckling shape to enhance the sensitivity and those with various buckling deflections were evaluated by using scanning leaser Doppler vibrometry.

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