高温パンチクリープ成形技術を用いた3軸力覚センサの開発および被覆樹脂の粘弾性特性を考慮したセンサ性能評価

カテゴリ: 部門大会

論文No: 27P2-SS3-5

グループ名: 【E】第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2020/10/19

タイトル(英語): Development of 3-axis force sensor by 3D microstructuring using high temperature punch creep forming and sensor performance evaluation considering resin viscoelasticity

著者名: 澤田 和磨(神戸大学), 丹村 響介(神戸大学), 大坂 憲司(神戸大学), 上杉 晃生(神戸大学), 菅野 公二(神戸大学), 磯野 吉正(神戸大学)

要約(日本語): 3次元微細構造をもった小型の樹脂封止3軸力センサを作製した.本センサの粘弾性応答を,応力緩和試験と動的機械分析によって評価し,一般化Maxwellモデル(GMM)によって特徴付けた.樹脂の粘弾性特性を評価し,GMMに基づく数値解析を行うことで,本センサに作用する荷重と変位をセンサ出力信号から推定できた.

要約(英語): A small, resin-packaged, three-axis force sensor with a three-dimensional microstructure was manufactured. The viscoelastic response of this sensor was evaluated by stress-relaxation test and dynamic mechanical analysis, and characterized by the generalized Maxwell model (GMM). By the viscoelastic properties of resin and numerical analysis based on GMM, load and displacement acting on this sensor could be estimated from the sensor output signal.

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