液体金属における金属配線との接触抵抗計測

カテゴリ: 部門大会

論文No: 27P3-SSL-49

グループ名: 【E】第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2020/10/19

タイトル(英語): Measurement of Contact Resistance for Liquid Metal on Solid Metal Interconnect

著者名: 佐藤 峻(早稲田大学), 岩瀬 英治(早稲田大学)

PDFファイルサイズ: 881 Kバイト