小型・低コスト構造の非腐食性液体用ピエゾ抵抗型圧力センサーの作製

カテゴリ: 部門大会

論文No: 27P3-SSL-52

グループ名: 【E】第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2020/10/19

タイトル(英語): Fabrication of Compact and low cost piezoresistive pressure sensor for non-corrosive liquid

著者名: 西田 将志(愛知時計電機), 日比野 力丸(愛知時計電機), 五明 智夫(愛知時計電機)

PDFファイルサイズ: 334 Kバイト