全方位走査用ジンバル型スキャナの振動特性解析

カテゴリ: 部門大会

論文No: 27P3-SSP-11

グループ名: 【E】第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2020/10/19

タイトル(英語): Vibration characteristics analysis of gimbal-type scanner for omnidirectional scanning

著者名: 佐々木 敬(東北大学), 鈴木 克也(東北大学), 羽根 一博(東北大学)

要約(日本語): 本稿では全方位走査用ジンバル型スキャナの詳細な振動特性を示す。剛体理論に基づき導出した運動方程式を数値的に計算した。 2 kHzで動作するミラーサイズ約1 mm×1 mmのデバイスの特性を解析した。最後に、高性能なデバイスを設計するためのいくつかの設計指針を示した。

要約(英語): This paper shows the vibration characteristics of gimbal-type scanner for omnidirectional scanning. The detailed equation of motion of the gimbal-type scanner based on a rigid body theory is shown and analyzed using a numerical method. The mirrors with a size of about 1 mm × 1 mm operated around 2 kHz are calculated. In the end, several guidelines for designing the high-performance device are shown.

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