並列Coulter計測のためのディプリーション型トランジスタ集積マイクロ流路

カテゴリ: 部門大会

論文No: 27P3-SSP-13

グループ名: 【E】第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2020/10/19

タイトル(英語): A microfluidic device integrated with depletion-mode transistor for parallel coulter particle counting

著者名: 岡本 有貴(東京大学, 産業技術総合研究所), 江澤 智也(東京大学), 肥後 昭男(東京大学), 三田 吉郎(東京大学)

要約(日本語): 本研究では、ディプリーション型NMOSトランジスタを集積したCoulter計測デバイスについて述べる。ディプリーション型トランジスタを用いることにより、常時ON状態にすることが可能となり、粒子検出信号の増幅をバイアス電圧を印可することなくでき、Coulter計測の並列化を可能とする。

要約(英語): A novel integrated Coulter particle counter is proposed: we fabricated, for the first time, a microfluidic device monolithically integrated on CMOS LSI with depletion-mode NMOS transistors. Due to the normally-on characteristic, the depletion-mode transistor enables us to perform particle detection without parasitic current and no body bias effect, thereby enabling multi-channel parallel measurement.

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