薄膜磁気センサと強磁場を用いたインライン製品検査の多チャンネル化

カテゴリ: 部門大会

論文No: 27P3-SSP-14

グループ名: 【E】第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2020/10/19

タイトル(英語): In-process multi-channel sensing system using thin film magneto-impedance sensor and strong magnetic field.

著者名: 中居 倫夫(宮城県産業技術総合センター)

要約(日本語): 大型の工業製品内部の工具破片等の磁性異物を,静磁場と薄膜磁気インピーダンスセンサを用いて非破壊的に検出することを目指し,広範囲に均一な磁場を生成可能な磁場発生機構を開発した。約370 Gの均一磁場を幅600 mm,奥行き方向400 mm, 高さ140 mmの領域内に実現する装置を試作するとともに,この磁場中に薄膜磁気インピーダンスセンサをライン状に配置することが可能であることを示した。

要約(英語): A sensing system in which a thin-film magneto-impedance sensor was set in a strong normal magnetic field and detected the foreign matters at the same time as magnetization is proposed. An apparatus which was made of 36 NdFeB magnets was shown that it can make a uniform 370 G magnetic field inside the volume of 600 mm×400 mm×140 mm. The possibility of installing a sensor allay which covers the whole measurement area is also shown.

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