マシンヘルスモニタリングシステムにおける、MEMS型加速度センサの自己診断

カテゴリ: 部門大会

論文No: 27P3-SSP-16

グループ名: 【E】第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2020/10/19

タイトル(英語): Self-diagnosis of MEMS accelerometers in machine health monitoring systems

著者名: 内貴 崇(ローム)

要約(日本語): 工場などに設置される機器の振動を監視する振動センサには、自身が定められた性能を維持し続けていることを、自己診断によりモニタリングすること、そしてその結果もし管理基準を外れた時には、性能劣化した部品交換の要求を、報知できることが求められている。本論文では、振動センサに内蔵する加速度センサデバイスの、Zero-g offsetのドリフト量を監視することで、稼働させながら機器の健康状態を評価する方法について報告する。

要約(英語): The vibration sensors that monitor the vibration of equipment installed in factories are required to monitor their own performance by self-diagnosis, and if they deviate from the control standards, they are required to be able to report the request for replacement of deteriorated sensors. This paper describes a method to evaluate the health of an accelerometer device embedded in a vibration sensor by monitoring the drift of its zero-g offset while it is in operation.

PDFファイルサイズ: 251 Kバイト