MEMSロゴスキーコイル型電流センサの電流経路依存性

カテゴリ: 部門大会

論文No: 27P3-SSP-19

グループ名: 【E】第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2020/10/19

タイトル(英語): Development of MEMS Rogowski Coil Current Sensor and its Dependence of Sensing Properties on Current Path

著者名: 渡部 善幸(山形県工業技術センター), 加藤 睦人(山形県工業技術センター), 矢作 徹(山形県工業技術センター), 村山 裕紀(山形県工業技術センター), 吉田 賢一(新電元工業), 指田 和之(新電元工業), 池田 克弥(新電元工業), 池田 康亮(新電元工業), 竹森 俊之(新電元工業)

要約(日本語): パワーデバイスの過電流検出を目的としたMEMSロゴスキーコイル型電流センサを開発した。デバイスは、上下方向に通電するための3種類のTSV構造電流端子と、TSV構造の電流検出コイルで構成されている。作製したロゴスキーコイル電流センサは比例的に電流を検出できたが、電流経路により異なる感度を示した。この原因は、電流端子と基板間の容量結合と磁気結合によるものと考えられる。

要約(英語): We have developed a MEMS Rogowski coil current sensor for overcurrent detection in power devices. The device is composed of a TSV structural current terminal with multi-TSV (16via, 256via and 112square shape via), and a TSV structural current detection coil. Fabricated Rogowski coil current sensor could detect current linearly, however three types indicated different sensitivity. It seems due to capacitive coupling and magnetic coupling between current terminal and the substrate.

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