薄膜対応熱重量分析用QCMの開発と評価

カテゴリ: 部門大会

論文No: 27P3-SSP-2

グループ名: 【E】第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2020/10/19

タイトル(英語): Development and evaluation of QCM for thermogravimetric analysis of thin film

著者名: 佐谷 元(新潟大学), 寒川 雅之(新潟大学), 安部 隆(新潟大学)

要約(日本語): 本報では,薄膜対応熱重量分析用QCMの開発と評価について報告する。このQCMは,励振電極とヒータ線を取り付けたガラス基板が水晶基板と分離しているため,被測定対象材料をスピンコートし,置くだけで薄膜の分析が可能である。私たちは,共振周波数安定性を評価した。そして,ヒータ線により生じる磁界を相殺させることで,共振周波数の安定性を向上させた。加えて,2つの振動形態を比較し,より熱重量分析に適した形態を決定した。

要約(英語): This paper reports the development and evaluation of QCM for thermogravimetric analysis of thin film. We evaluated the stability of resonance frequency. And we improved it by canceling magnetic field generated by the microheater. In addition, we compared frequency stability of two vibrational modes, and determined a mode more suitable for the thermogravimetric analysis.

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