SnO2/カーボンナノチューブ同時集積NO2ガスセンサ特性の混合比依存性

カテゴリ: 部門大会

論文No: 27P3-SSP-26

グループ名: 【E】第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2020/10/19

タイトル(英語): Decoration ratio dependence of SnO2 decorated CNT gas sensors for NO2 detection

著者名: 小田 剛士(九州大学), 稲葉 優文(九州大学), 中野 道彦(九州大学), 末廣 純也(九州大学)

要約(日本語): 我々は以前よりNO2検出を目的として、誘電泳動集法を用いることでガスセンサを作製してきた。本論文ではp型半導体CNTとn型半導体SnO2の複合ガスセンサを作製した。また高感度化を目的として、CNTとSnO2の複合比をCNT中のC:SnO2[molar]=1:1~150と変えながら、応答特性を調査した。結果、1:100をピークとしてその前後で応答最大値が下がる特性を示した。

要約(英語): In this paper, the NO2 gas response properties are investigated as a function of sensing material mixture ratio for gas sensors with carbon nanotube/SnO2 simultaneous assembled channel, which is fabricated by dielectrophoretic assembly method. As a result, the sensor with mixture ratio of 1(carbon):100(SnO2) [molar] exhibits the highest response.

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