マイクロブラスト加工におけるマスク材の温度調整による加工形状の制御

カテゴリ: 部門大会

論文No: 27P3-SSP-3

グループ名: 【E】第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2020/10/19

タイトル(英語): Micropowder Blasting with Temperature for Processing Shape Control

著者名: 高田 幹斉(関東学院大学), 柳生 裕聖(関東学院大学)

要約(日本語): ガラス基板上の加工溝の断面形状を制御するために加工温度を制御するマイクロブラスト加工を検討した。マイクロブラスト加工におけるマスク材の摩耗量はマスク材の動的粘弾性における損失正接に依存し,加工温度を上昇させることにより加工溝の断面形状を制御できことが確認された

要約(英語): Micropowder blasting by controlling a processing temperature was proposed to realize a control of processed channel profile on a glass. We confirmed that an erosion of mask during micropowder blasting depends on loss tangent in viscoelasticity and increasing the processing temperature can be controlled the processed line pattern profile.

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