SU-8ナノ加工を用いた光操作ナノニードルの開発

カテゴリ: 部門大会

論文No: 27P3-SSP-39

グループ名: 【E】第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2020/10/19

タイトル(英語): Development of Photo-operated Nanoneedle using SU-8 Nanofabrication

著者名: 原田 雅彦(香川大学), 高尾 英邦(香川大学), 下川 房男(香川大学), 寺尾 京平(香川大学)

要約(日本語): 本研究では、2軸の光ピンセットを用いて水溶液中で動作する光操作型ナノニードルを開発した。ナノニードルは、光ピンセットでトラップするための2つのマイクロメートルサイズのトラップ部と、幅200nm, 長さ20μmのナノニードル部から構成されている。ナノニードルはSU-8を用いた1回のリソグラフィープロセスで作製した。本論文では、光操作型ナノニードルの作製プロセスと操作のデモンストレーションについて報告する。

要約(英語): We developed an optical-driven nanoneedle that is operated in aqueous solution by 2 focused laser beams. A nanoneedle tool consist of 2 micrometer-sized structures for optical trapping and a nanoneedle having 200nm width and 20μm length. In this paper, we report on the fabrication process of the nanoneedle tools and the demonstration of the manipulation.

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