金ナノ構造光吸収体集積静電型マイクロ振動子デバイスによる近赤外光強度センシング

カテゴリ: 部門大会

論文No: 27P3-SSP-7

グループ名: 【E】第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2020/10/19

タイトル(英語): Near-infrared light intensity sensing by electrostatic microresonator transducer integrated with gold nanostructure optical absorber

著者名: 鈴木 隆正(神戸大学), 中藤 康太(神戸大学), 上杉 晃生(神戸大学), 菅野 公二(神戸大学), 磯野 吉正(神戸大学)

要約(日本語): 小型,安価で高感度な近赤外光センサの実現を目的とし,ナノ構造近赤外光吸収体を集積した波長依存性を有する単結晶Si静電型マイクロ振動子センサの作製と評価を行った.光強度検出実験では,照射光強度に対してデバイスの共振周波数変化率が線形関係を持つことが示され,その傾きは最大で28 %/mWとなった.また,Auナノ構造体の吸収率と共振周波数変化率に線形関係があることを明らかにした.最小検出分解能は約5 nWであった.

要約(英語): we fabricated and evaluated a single crystalline silicon electrostatic microresonator sensor integrated with a gold nanostructure near-infrared light absorber. In the light intensity detection experiment, it was shown that the resonance frequency change rate of the device has a linear relationship with the irradiation light intensity, and the slope is 28%/mW at the maximum. The minimum detection resolution was about 5 nW.

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