フレキシブルフィルム上へのマイクロワイヤの磁気的アセンブリ

カテゴリ: 部門大会

論文No: 28A3-SS2-4

グループ名: 【E】第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2020/10/19

タイトル(英語): Magnetically Assembly of Microwires on flexible film

著者名: Claire King Teck Sieng(豊橋技術科学大学), 安井 大貴(豊橋技術科学大学), 鈴木 巧(テクノプロ・テクノプロR&D), 井戸川 槙之介(豊橋技術科学大学), 清木場 悠(豊橋技術科学大学), 三田 理央毅(豊橋技術科学大学)，沼野利佳(豊橋技術科学大学)，鯉田孝和(豊橋技術科学大学), 河野 剛士(豊橋技術科学大学)

要約(日本語): 本研究では、脳組織への損傷を解決するため、提案するアセンブリ技術を用いて生体適合性の高いフレキシブルなパリレンフィルム上に直径15 μmのマイクロワイヤ電極アレイを製作した。また、製作したデバイスの電気的特性評価およびマウス脳計測を実施した。この提案手法により、今後のより質の高いニューロン計測が可能であると考える。

要約(英語): We have proposed an assembly technique of three-dimensional microelectrodes on flexible film using a magnet. Herein, microwires made of Ni with the length of 500 μm and the diameter of 10 μm are assembled and fixed on Si substrate with parylene-C. The parylene-C and microwires are then peeled from the substrate to create a flexible electrode device. We also recorded neuronal activities in a mouse’s brain tissue in vivo with the device developed to ensure its neuronal recording capability.

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