ガラスの温冷感評価のためのヒータ集積型MEMS触覚センサの作製

カテゴリ: 部門大会

論文No: 28A3-SS3-2

グループ名: 【E】第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2020/10/19

タイトル(英語): Fabrication of heater-integrated MEMS tactile sensor for evaluation of warm and cold sensation by touching glass

著者名: 恩田 尚隆(新潟大学), 安部 隆(新潟大学), 一色 眞誠(AGC), 寒川 雅之(新潟大学)

要約(日本語): 本論文では,熱伝導性エラストマーの接触部と集積化ヒータを用いて,力と温度に対して応答を示すMEMS触覚センサを作製し,その性能評価を行った.このセンサをガラスに接触させたときの熱伝導による温度応答を測定した。 また、ガラスの表面加工の違いによる温冷感の違いを検出することができた。

要約(英語): This paper addresses fabrication and characterization of a MEMS tactile sensor sensitive to force and temperature with an on-chip heater and a contact part of thermally conductive elastomer. The temperature response of this sensor due to heat transfer when it was in contact with the glass plate was measured. We were also able to detect differences in warm and cold sensations due to differences in the surface finish of the glass.

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