Fabrication and Characterization of Epitaxial-PZT Doughnut-Shaped pMUT

カテゴリ: 部門大会

論文No: 28A3-SS3-4

グループ名: 【E】第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2020/10/19

タイトル(英語): Fabrication and Characterization of Epitaxial-PZT Doughnut-Shaped pMUT

著者名: Liu Ziyi(東北大学), 吉田 慎哉(東北大学), 田中 秀治(東北大学)

要約(日本語): In this study, we have proposed a doughnut-shape piezoelectric micromachined ultrasonic transducer based on a PZT-based monosrystalline thin film for increasing both the displacement sensitivity and resonant frequency.

要約(英語): In this study, we have proposed a doughnut-shape piezoelectric micromachined ultrasonic transducer based on a PZT-based monosrystalline thin film for increasing both the displacement sensitivity and resonant frequency.

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