金属?誘電体?金属サブ波長格子を利用した可変プラズモニックフィルタの光学機械特性評価

カテゴリ: 部門大会

論文No: 28P1-SS1-1

グループ名: 【E】第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2020/10/19

タイトル(英語): Evauluation of optical properties of MEMS tunable plasmonic color filter using Metal/Insulator/Metal subwavelength grating

著者名: Tay Shan Wei(豊橋技術科学大学), 平田 敦也(豊橋技術科学大学), 熊谷 隼人(豊橋技術科学大学), 澤田 和明(豊橋技術科学大学), 高橋 一浩(豊橋技術科学大学)

要約(日本語): この研究では、私たちはMEMS静電アクチュエータを使い金属―誘電体―金属(MIM)格子の間隔を機械的に拡張させることのできる可変プラズモニックカラーフィルタを提案した。MIM可変カラーフィルターは従来の単層Al可変フィルターに比べ、プラズモンの励起に依存しない600 nmから650 nmの光漏れを31.2%pt抑制でき、波長選択性を向上させた。また、格子間隔が140Vで570 nmから635 nmへの65nmのピークシシフトが得られた.

要約(英語): In this study, we proposed a tunable plasmonic color filter by means of gap expansion of a metal-insulator-metal (MIM) subwavelength grating by a MEMS electrostatic actuator. The fabricated MIM tunable color filter suppresses light leakage by 31.2%pt compared to the conventional Al tunable filter, resulting in improvement of wavelength selectivity. We also succeeded in extending the grating period from 570 nm to 635 nm by applying 140 V to the actuator, and realized a 65 nm spectral shift.

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