マイクロ振動子のたわみ制御による振動型光センサの高感度化

カテゴリ: 部門大会

論文No: 28P1-SS1-2

グループ名: 【E】第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2020/10/19

タイトル(英語): Study on sensitivity improvement of microresonator-based optical sensor by deflection control

著者名: 竹上 航平(神戸大学), 新居 直之(神戸大学), 上杉 晃生(神戸大学), 菅野 , 磯野 吉正(神戸大学)

要約(日本語): 振動子型光センサの応力状態に着目し,入熱による共振周波数変化に与える影響を評価した.たわみが小さい場合の共振周波数は入熱に伴って低下し,たわみが大きい場合は逆転した.また,共振周波数変化率はたわみの小さいデバイスにおいて高い結果となった.

要約(英語): We focused on the stress and the resonant frequency change of the microresonator. The resonant frequency in the case of small deflection decreased with heat input and was reversed in the case of large deflection. The resonant frequency change rate was high for small deflection device.

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