FePtめっき薄膜を用いて作製した微小磁石を有するカンチレバーセンサ

カテゴリ: 部門大会

論文No: 28P1-SS1-5

グループ名: 【E】第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2020/10/19

タイトル(英語): Cantilever sensor with a small magnet fabricated using electroplated FePt Film

著者名: 戸田 雅也(東北大学), Hao Xu(東北大学), 小野 崇人(東北大学)

要約(日本語): 電気めっき法でFePt膜をSOIウェハ上に堆積し,パターニンしたFePt膜を先端に有するSiカンチレバー型磁気センサを作製した。標準的な三電極式電気化学システムで,-0.75±0.02 Vの電位で堆積し,続く水素下750℃でのアニーリングプロセスにより,Fe/Ptの原子比は1に近くなり,かつ保磁力が0.25 Tに向上した。磁化されたFePt膜を先端に有するSiカンチレバーは,交流磁場印加実験により2×10-8 Tの最小検出可能磁場をもつ

要約(英語): An FePt film is patterned on an SOI wafer using an electroplating method, and a Si cantilever sensor with a magnetic film is fabricated. The atomic ratio of the electroplated Fe/Pt is close to 1, which is controlled by a potential of -0.75 ± 0.02 V in a standard three-electrode electroplating system. The fabricated cantilever with the magnetized FePt film at the apex has a minimum detectable magnetic field of 2×10-8 T.

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