大変位可能なMEMS-on-PCB単軸磁気アクチュエータの作製と評価

カテゴリ: 部門大会

論文No: 28P1-SS1-6

グループ名: 【E】第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2020/10/19

タイトル(英語): Fabrication and Evaluation of MEMS-on-PCB One-Axis Electromagnetic Actuator with Large Displacement

著者名: 王 華宇(東北大学), 山田 駿介(東北大学), 田中 秀治(東北大学)

要約(日本語): 大変位可能なMEMS-on-PCB単軸磁気アクチュエータの作製と評価

要約(英語): Fabrication and Evaluation of MEMS-on-PCB One-Axis Electromagnetic Actuator with Large Displacement.

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