マイクロ配列電極を用いた局所増感型水晶複素容量センサの開発

カテゴリ: 部門大会

論文No: 28P1-SS2-2

グループ名: 【E】第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2020/10/19

タイトル(英語): Development of Quartz Crystal Complex Capacitive Sensor with Microelectrode Array for Sensitization

著者名: 橋本 祐希(新潟大学), 灰野 貴晶(新潟大学), 寒川 雅之(新潟大学), 安部 隆(新潟大学)

要約(日本語): 本論文では、マイクロ浮遊配列電極を利用し、フリンジ電界を測定試料近傍に集中させることで、試料を局所的かつ非接触で検出可能なセンサの開発を行った。マイクロ配列電極を用いることで、SC面内および面外方向への応答を相対的に抑制し、空間分解能の向上に成功した。本センサは小型で安価に製作可能なので,多くのセンサが必要とされるIoTの分野での応用が期待される。

要約(英語): In this paper, we report a development of quartz crystal complex capacitive sensor with microelectrode array for local detection of liquid sample. It is a contactless capacitive sensor using out-of-plane electric field of a planer sensing capacitor. We succeeded in confining the electric field by placing microelectrode array on the SC and improving the spatial resolution of the sensor. This sensor enables local capacitive detection of target materials.

PDFファイルサイズ: 532 Kバイト