ガラスフィルムを用いたナノポアデバイスの作製とバイオナノ粒子計測への応用

カテゴリ: 部門大会

論文No: 28P1-SS3-5

グループ名: 【E】第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2020/10/19

タイトル(英語): Fabrication of Nanopore Devices Using Glass Film and Its Application to Bionanoparticle Measurement

著者名: 中村 泰輝(東京工業大学), 山本 貴富喜(東京工業大学)

要約(日本語): 本研究では、従来の作製コストが高いナノポアチップ作製法の問題点に着目し、簡便かつ低コストで作製する手法を開発することを目的として、厚さ4μmのガラスフィルムと真空紫外接合を用いた新しい作製法の実証と、作製したナノポアチップの初期評価を行った。

要約(英語): We have proposed and experimentally demonstrated a method to fabricate glass-made nanopore chip. The proposed fabrication process is able to fabricate a nanopore substrate within 30 to 60 min., which is much faster and easer than the conventional Si3N4 membrane based method.

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