ストライプ状ガスグリッドへの電圧印加によるガス透過特性制御

カテゴリ: 部門大会

論文No: 10A3-SS1-3

グループ名: 【E】第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2021/11/02

著者名: 和田 凌明（豊橋技術科学大学）, 和田 武（豊橋技術科学大学）, 水谷 学世（新東工業）, 鈴木 誉久（新東工業）, 崔 容俊（豊橋技術科学大学）, 高橋 一浩（豊橋技術科学大学）, 澤田 和明（豊橋技術科学大学）, 野田 俊彦（豊橋技術科学大学）

キーワード: ガスセンサ|ガスグリッド|ガス選択制|センシング特性の制御|マルチガスセンシング

要約(日本語): 既存のガスセンサに組み合わせることでセンサの特性を制御することが可能な新しいデバイスを実証した.ガスグリッドに印加する電圧の影響をアンモニア,酢酸,エタノールで比較したところ,電圧の影響はガスの種類によって異なり,電圧の値によって制御可能であることを示した.ガスグリッドによりガスセンサの検出特性を変化させることができ,その効果はガスグリッドへの印加電圧によって任意に制御することが可能である.

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