グラフェンインクとTMPDを用いたNOガスセンサ

カテゴリ: 部門大会

論文No: 10A3-SS1-4

グループ名: 【E】第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2021/11/02

著者名: 山口 富治（東京電機大学）

キーワード: NOガスセンサ|一酸化窒素|グラフェン|TMPD|フレキシブルセンサ

要約(日本語): グラフェンインクとTMPDを用いた低温熱処理プロセスにより,一酸化窒素(NO)ガスを高感度に検知できるガス感応膜を作製した。アルミナ基板およびポリエチレンテレフタレート基板上にこの感応膜を形成し,抵抗変化型NOガスセンサを作製した。作製したセンサは2ppmから10ppmのNOガス濃度を検出することができた。

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