アレイ状のSMA厚膜アクチュエータとコイルばねを配置したせん断駆動型触覚ディスプレイ機構部の形成

カテゴリ: 部門大会

論文No: 10A3-SS2-3

グループ名: 【E】第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2021/11/02

著者名: 佐藤 勇人（山形大学）, 丸山 顕（山形大学）, 齋藤 涼（山形大学）, 峯田 貴（山形大学）

キーワード: 触覚ディスプレイ|SMAアクチュエータ|せん断動作|MEMS|コイルばね

要約(日本語): せん断動作する触覚ディスプレイの機構部を厚膜SMAアクチュエータとコイルばねを用いて形成した.Cu基板上にSMAフラッシュ蒸着膜を成膜し(7 μm厚),面内で伸縮するSMAアクチュエータを形成した.また,別基板上へSU-8パターンによりコイルばねをアレイ状に固定し,SMA基板と接合してアクチュエータを伸長させる手法を確立した.SMAをパルス通電加熱して収縮させた際の発生振幅と力を評価した.

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