高感度化座屈ダイアフラム上圧電MEMS超音波センサの振動モード解析

カテゴリ: 部門大会

論文No: 10A3-SS2-6

グループ名: 【E】第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2021/11/02

著者名: 藤井 翔太（京都工芸繊維大学）, 出井 航（京都工芸繊維大学）, 山下 馨（京都工芸繊維大学）, 西岡 知記（京都工芸繊維大学）

キーワード: 超音波センサ|ダイアフラム|振動モード|座屈|固有振動数

要約(日本語): 高感度化のための座屈撓みを持つ圧電MEMSダイアフラム型超音波センサの共振振動の解析を試みた。一次元梁両端固定梁を解析モデルとして使用した。大きな静的座屈に起因する面内方向の伸縮を考慮することにより,実測に近い共振挙動を得ることができた。また,解析結果からモードの合成が生じ得ることも示された。以上のことからエネルギー法は座屈ダイアフラムの振動挙動を解析する有用なツールとなり得ることが示された。

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