極薄圧電素子のフレキシブルパラメトリックスピーカー応用の検討

カテゴリ: 部門大会

論文No: 10A3-SS3-5

グループ名: 【E】第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2021/11/02

著者名: 山下 崇博（産業技術総合研究所）, 竹下 俊弘（産業技術総合研究所）, 大内 篤（産業技術総合研究所）, 小林 健（産業技術総合研究所）

キーワード: スピーカー|フィルム|フレキシブル|圧電|極薄

要約(日本語): 本論文では、フレキシブル基板上に厚さ5μm以下のフレキシブル性を有する極薄圧電PZT/Siベアチップを実装した、フィルム型フレキシブルスピーカーを報告する。この技術は、一般的なスピーカーで用いられる密閉された振動板構造を必要としないため、小型で簡易的なサラウンド用電子部品や、電子ペーパーやスマートフォン向けの極小・極薄フレキシブルパラメトリックスピーカーとしての応用が期待される。

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