ハーフインチ径水晶ウエハ上へ成膜したAlN薄膜上への弾性表面波デバイスアレイの試作と評価

カテゴリ: 部門大会

論文No: 10A3-SS3-6

グループ名: 【E】第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2021/11/02

著者名: 永野 朝日（九州工業大学）, 北村 奏人（九州工業大学）, 野田 周一（産業技術総合研究所）, 井口 航平（九州工業大学）, 村上 直（九州工業大学）, クンプアン ソマワン（産業技術総合研究所）, 原 史朗（産業技術総合研究所）

キーワード: 弾性表面波デバイス|圧電薄膜|窒化アルミニウム|水晶|周波数特性

要約(日本語): 弾性表面波(SAW)デバイスは圧電マイクロデバイスの一種で,圧電性の基材上にくし歯形状の電極(IDT)を作製した素子構造を有する.本研究では,ハーフインチ径のSTカット水晶ウエハ上に反応性スパッタリングで成膜した窒化アルミニウム(AlN)薄膜の表面に,アルミニウム(Al)を電極材とするSAWデバイスを作製した.AlN薄膜の結晶配向性に加え,化学センサ等への応用に向けて,試作したSAWデバイスの特性評価も行った.

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