800nm帯面発光レーザーのための可動式誘電体多層膜ミラーチップの製作

カテゴリ: 部門大会

論文No: 10P2-SS2-3

グループ名: 【E】第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2021/11/02

著者名: 趙 智健（東北大学）, 戸田 雅也（東北大学）, 原 基揚（情報通信研究機構）, 品田 聡（情報通信研究機構）, 小野 崇人（東北大学）

キーワード: 微小電気機械システム|垂直共振器型面発光レーザー|波長可変レーザー|可動式ミラーチップ|小型原子時計

要約(日本語): 原子時計用の垂直共振器面発光レーザ(VCSEL) は、汎用品と異なり波長の製造バラツキを1 nm 以下に抑制する必要がある。そのため、VCSELの売価はスクリーニングにより10~20 倍に跳ね上がってしまう。そこで本研究では、可動式誘電体多層膜ミラーチップと半VCSELチップと組み合わせたハイブリッド型波長可変VCSELを提案し、そのための可動式誘電体多層膜ミラーチップの設計・試作を行い、動作電圧に対するミラーの変位特性を報告する。

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